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Korrelierte 3D Mikroskopie mit Nanometer Auflösung
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Korrelierte 3D Mikroskopie mit Nanometer Auflösung

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Die universelle Integrierbarkeit des kompakten AFSEM-Mikroskops in Elektronenmikroskope ermöglicht direkte 3D-Abbildung mit Sub-Nanometer Auflösung.


Für die Untersuchung in der Nanowelt ist die Rasterkraftmikroskopie (Atomic Force Microscope; AFM) die meistbenützte Mikroskopiemethode mit sub-nanometer Auflösung. Dabei wird mit einem Cantilever – ein Biegebalken mit sehr scharfer Spitze – die Oberfläche einer Probe abgescannt und die Topographie punktweise abgebildet.
Das AFSEM™ ist eine völlig neuartige modulare AFM Plattform - speziell entwickelt für die Integration in andere Analysegeräte. Es realisiert die Vorteile des weltweiten Trends „2 Mikroskope sind besser als 1“ durch die Kombination des extrem kompakten AFSEM™ mit einem Rasterelektronenmikroskop (REM).
Rasterelektronenmikroskope liefern grundsätzlich nur 2D Informationen, jedoch auch bei großen Bildausschnitten. Die Kombination von AFSEM™ mit REM ermöglicht eine echte 3D-Abbildung mit sub-nanometer Auflösung in allen 3 Dimensionen von exakt derselben Stelle - ohne Atmosphäreneinfluss. Die Probe muss dabei nicht von einem Analysegerät zum Anderen transferiert werden.
Gegenüber den Konkurrenzprodukten weist das AFSEM™ einige wichtige Alleinstellungsmerkmale auf. Jede Probe, die vom REM akzeptiert wird, kann auch mit AFSEM™ untersucht werden. Das patentierte Scanner-Konzept ermöglicht 5 bis 10 mal höhere Abbildungsgeschwindigkeiten als alle Konkurrenzprodukte. Spezielle Cantilever mit integrierten Dehnungssensoren und verschiedenen Spitzenmodifikationen (leitfähig, magnetisch, temperatursensitiv) erlauben zusätzlich zur topographischen Abbildung auch eine elektrische, magnetische und thermische Analyse mit Auflösungen im Nanometer-Bereich.

GETec Microscopy GmbH
Dechantstr. 9
3550 Langenlois
0664/3937743
info@getec-afm.com
http://www.getec-afm.com
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Unternehmensprofil:
Die GETec Microscopy konzentriert seine F&E-Aktivitäten auf die Produktlinie AFSEM. Dies ist eine Kombination von Atomkraftmikroskopie (atomic force microscope – AFM) und Sekundärelektronenmikroskopie (scanning electron microscope - SEM). Das Unternehmen deckt alle wesentlichen Elemente der Wertschöpfungskette entweder direkt oder in exklusiven Kooperationen mit Partnern ab.
Markterfolge:
Mit der Lösung werden völlig neue Analysen in Material-, Nano- und Halbleitertechnologie sowie der Biophysik möglich. Seit der Markteinführung Ende 2015 wurden 8 Systeme verkauft bzw. im Rahmen von Kooperationsprojekten installiert (UC Berkeley, Goethe Uni Frankfurt, TU Wien, TU Graz, EPFL Lausanne, Montan Uni Leoben, JKU Linz, Nanosurf AG/CH).
Gründungsjahr: 2015
Mitarbeiter 2015: 5
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